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技術(shù)文章

生物醫學(xué)玻璃的激光微加工—芯片實(shí)驗室

技術(shù)文章

相信大家在部分科幻電影或動(dòng)漫中,常常能看到可以植入人體的芯片,用來(lái)監控身體各個(gè)參數、增強人體機能和神經(jīng)反應。芯片一旦植入,普通人就變身成為神秘特工或未來(lái)戰士。

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而現實(shí)中隨著(zhù)馬斯克的腦機接口正在一步步邁向臨床,AlphGo把人類(lèi)棋手完虐等以前只能在科幻電影中見(jiàn)到的“未來(lái)科技”,逐步在現實(shí)生活中出現的時(shí)候,擁有“小身材有大智慧”的AI芯片似乎也能夠夢(mèng)想照進(jìn)現實(shí)了。

事實(shí)上,如今已有一些“芯片實(shí)驗室(Lab-on-a-chip)”出現了,并且其發(fā)展速度是非常快的!

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芯片實(shí)驗室

 

什么是“芯片實(shí)驗室(Lab-on-a-chip)”?簡(jiǎn)單地說(shuō),能夠將整個(gè)在實(shí)驗室中進(jìn)行的基本操作單位集成到簡(jiǎn)單微系統上的技術(shù)就叫“芯片實(shí)驗室”。“芯片實(shí)驗室”中的芯片是作為流體在其中流動(dòng)的微通道圖案,可被模塑或刻蝕。

 

微通道和外部宏觀(guān)環(huán)境之間的連接需要通過(guò)若干孔,這些孔穿透芯片,具有不同的尺寸,用于將流體注入芯片或從芯片中移除。在微流控芯片中,根據實(shí)驗需要,流體被混合、分離或引導。終結果可形成自動(dòng)復合系統,從而實(shí)現高通量檢測。

 

在生物醫學(xué)應用領(lǐng)域,芯片實(shí)驗室可以實(shí)現快速診斷。芯片實(shí)驗室技術(shù)有望成為一種重要的診斷工具。這些微型化的設備使醫療保健服務(wù)提供方可以使用非常少量的試劑和測試樣本執行一系列診斷測試。此外得益于它們的便攜性,還可以在遠離實(shí)驗室環(huán)境的現場(chǎng)進(jìn)行測試。

 

制作芯片實(shí)驗室(Lab- on-a-chip)或微流控芯片(Microfluidic chip)的材料主要是玻璃,受限于芯片的微尺度特性,在制備過(guò)程中,對玻璃進(jìn)行激光微加工有著(zhù)很高的要求。制作芯片實(shí)驗室的大挑戰之一是在玻璃芯片內部加工高精度管道、容器和閥門(mén)。

 

挑戰:玻璃微加工

 

 

由于其脆性和透明性,玻璃中進(jìn)行微小的特征加工進(jìn)行是相當困難的。如果使用常規工具手段,實(shí)際上是不可能的。但是超快激光器可以勝任這種加工。當脈沖持續時(shí)間低于幾十皮秒時(shí),激光與材料的相互作用進(jìn)入冷燒蝕狀態(tài),加工質(zhì)量和精度會(huì )變得很高。

 

常規的微制造方法,例如光刻,壓印和軟蝕刻,已經(jīng)用于制備微流體芯片。然而,當要實(shí)現具有多功能集成的復雜微流控芯片時(shí),這些方法將面臨巨大挑戰,因為它們需要太多工藝步驟,并且成本很高。 

 

刻蝕來(lái)啦

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▲由NKT Photonics的ORIGAMI XP飛秒激光制備的芯片實(shí)驗室樣品

大功率超快激光脈沖穿透玻璃。緊聚焦的飛秒激光脈沖可以經(jīng)濟有效地生產(chǎn)具有多功能的通用微流控芯片。超短脈沖寬度提供了令人難以置信的峰值功率,即使在透明材料中,也可以進(jìn)行表面和塊狀材料內部的改性以進(jìn)行劃線(xiàn)。

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▲飛秒激光加工的芯片溝道特寫(xiě)

超快激光確保加工的高精度和高質(zhì)量。通過(guò)利用激光的高度空間選擇性,可以將相互作用區域準確地設置在材料的特定局部區域。這使得飛秒加工技術(shù)可以在透明材料中以微尺度對復雜的三維形狀進(jìn)行非常高分辨率的圖案化和雕刻。

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▲深度小于10 μm的溝道特寫(xiě)

NKT超快激光器可以實(shí)現非常精細的深度和通道寬度控制

飛秒級超短脈沖寬度比材料中的電子-聲子耦合過(guò)程都短,因此超短的飛秒脈沖寬度,意味著(zhù)在飛秒時(shí)間尺度傳遞能量,這能很好的降低熱影響區的形成和熱損害。這種“冷燒蝕”方式實(shí)現了高精度和高分辨率的微加工處理,并具有較高的處理可靠性。緊密聚焦的光束可以在微尺度上非常高分辨率地對復雜形狀進(jìn)行微加工。

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▲用ORIGAMI XP飛秒激光處理過(guò)的芯片實(shí)驗室樣品的特寫(xiě)

圖片展示為芯片中直徑約0.6 mm的圓形儲集層

 

 

NKT Photonics:我們來(lái)提供

NKT Photonics的超快激光提供的超短脈沖非常適合用于制備芯片實(shí)驗室器件。我們強烈建議將ORIGAMI XP用于玻璃和其他透明材料的激光加工。

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ORIGAMI XP是一款集成、單箱、微焦級飛秒激光器。激光頭、控制器和空氣冷卻系統都集成在一個(gè)小巧而堅固的包裝中,體積小,甚至可以放在手提行李中! 

 

ORIGAMI XP系統基于緊湊的啁啾脈沖放大技術(shù)平臺,能夠在1030 nm處提供高達75µJ的脈沖能量,5 W的平均功率以及小于400 fs的脈沖持續時(shí)間。 

特點(diǎn):

•風(fēng)冷,單箱體,易于集成

•<400 fs標準脈沖寬度

• 5 W / 75 µJ @ 1030nm

•2.5 W / 40 µJ @ 515 nm

•1 W / 20 µJ @ 343nm

•單發(fā)(Single-shot)和按需脈沖(Pulse-on-Demand)

•雙輸出波長(cháng)模塊

•有效的脈沖能量和指向穩定性

•工業(yè),堅固的設計

•可以任意方向安裝

•實(shí)時(shí)脈沖能量測量和控制?

•高可靠性

•亦可用水冷  

北京凌云光技術(shù)集團作為NKT Photonics公司在中國的戰略合作伙伴,多年的合作中NKT Photonics公司與凌云始終如一,為客戶(hù)不斷提供更穩定、更先進(jìn)、更前沿的技術(shù)!

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